P12.XYZ XYZ軸ピエゾ位置決めステージは、60×60×24 mmのコンパクトなサイズで、最大100 μmのストロークを実現。ピエゾ駆動、摩擦のない、柔軟なヒンジガイドシステムにより、このシリーズの製品は、ナノメートル分解能、ミリ秒の応答時間、テーブル本体の中心に貫通穴サイズΦ25 mmを達成し、顕微鏡の移動位置決めに適します。
仕様
| 型番(S閉ループ/K開ループ) | P12.XYZ100S | P12.XYZ100K | 単位 |
| 移動方向 | X、Y、Z | X、Y、Z | |
| 移動範囲(0～120 V) | 80 | 80 | μm±10% |
| 移動範囲(0～150 V) | 100 | 100 | μm±10% |
| センサータイプ | SGS | – | |
| 貫通穴サイズ | Ø25 | Ø25 | mm |
| 分解能 | 3 | 1 | nm, typ. |
| 閉ループ直線性 | 0.1 | – | %F.S. |
| 閉ループの繰り返し位置決め精度 | 0.05 | – | %F.S. |
| ピッチ/ヨー/ロール | <15 | <15 | μrad |
| プッシュ/プルの動作方向 | 20/4 | 20/4 | N |
| 移動方向の硬さ | x0.3/y0.25/z0.2 | x0.3/y0.25/z0.2 | N/µm±20% |
| 無負荷共振周波数 | x0.23/y0.18/z0.15 | x0.23/y0.18/z0.15 | kHz±20% |
| 無負荷ステップ時間 | 30 | 0.8 | ms±20% |
| 閉ループ動作周波数 (-3 dB) | – | – | Hz±20% |
| キャリングキャパシティ | 0.6 | 0.6 | kg |
| 静電容量 | 1.8 | 1.8 | μF/軸±20% |
| 材質 | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム | |
| 重量 | 260 | 260 | g±5% |
** 低温仕様、高真空仕様のカスタマイズが可能です。
***コネクターはカスタマイズ可能です。
注1：上記のパラメータは、テスト環境およびテスト機器に関連するものです。 位置決めテーブル表面の平行度は約20 μm、粗さは約1.6～3.2です。特別な要件については、購入前にご確認ください。
注2：上記のパラメータは、E00/E01シリーズピエゾコントローラを使用して測定されたもので、最大駆動電圧は-20 V～150 Vの範囲で使用できます。高信頼性の長期使用には、駆動電圧が0～120 Vの範囲であることを推奨します。
模式図
