ピエゾ位置決めステージP15は、高速かつ高精度な2Dおよび3D移動とナノ位置決めテーブルで、非常に高度な真直度を備えています。中央に66 x 66 mmの貫通穴があり、近接場スキャン、共焦点顕微鏡、マスク位置決めなどの透過光アプリケーションに適しています。
製品の特徴
- 3軸制御、ストローク300 μm/軸
- 摩擦のない高精度なフレキソ誘導システム
- オプションでクローズドループセンサーを用意できる
- 高い位置決め平坦度
- 貫通穴 66×66 mm
- 真空仕様あり
仕様
| 型番(S閉ループ/K開ループ) | P15.XY100S-C1 P15.XY100K-C1 | P15.XYZ100S-B1 P15.XYZ100K-B1 | P15.XYZ100S-B2 P15.XYZ100K-B2 | 単位 |
| 動作方向 | X、Y | X、Y、Z | X、Y、Z | |
| 駆動制御 | 2軸 | 3軸 | 3軸 | |
| 移動範囲（0〜120 V） | 80/ シャフト | 100/シャフト | XY±50 Z100 | μm±10% |
| 移動範囲（0～150 V） | 100/シャフト | 120/シャフト | XY±60 Z120 | μm±10% |
| センサータイプ | SGS/- | SGS/- | SGS/- | |
| スルーホールサイズ | 66 x 66 | 60 x 60 | 60 x 60 | mm |
| クローズド/オープンループ分解能 | 3.5/1 | 3.5/1 | 3.5/1 | nm |
| 閉ループ直線性 | 0.15/- | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. |
| クローズドループの繰り返し位置決め精度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. |
| ピッチ／ヨー／ロール | <30 | 30 | 30 | μrad |
| プッシュ/プル | 60/10 | 100/20 | XY150/20 Z100/20 | N |
| 運動方向剛性 | 0.6 | 0.8 | 1.6/1.6/0.8 | N/μm±20% |
| 無負荷時共振周波数 | 200 | 300/350/400 | 389/355/400 | Hz±20% |
| 負荷による共振周波数 | 45（＠6 kg） | – | – | Hz±20% |
| 閉ループ／開ループ無負荷ステップ時間 | – | – | – | ms±20% |
| キャリングキャパシティ | 前方6/後方6/水平0.5 | 1 | 2 | kg |
| 静電容量 | 10.8/軸 | XY7.2/Z14.4 | 14.4 | μF±20% |
| 素材 | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム | |
| 重量 | <1.1 | 700 | 750 | g±5% |
仕様
| 型番(S閉ループ/K開ループ) | P15.XYZ300S P15.XYZ300K | P15.XYZ300S-C1 P15.XYZ300K-C1 | P15.XYZ300S-C2 P15.XYZ300K-C2 | 単位 |
| 動作方向 | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、Z | |
| 駆動制御 | 3軸 | 3軸 | 3軸 | |
| 移動範囲（0〜120 V） | 240/ シャフト | ±120/シャフト | ±120/シャフト | μm±10% |
| 移動範囲（0～150 V） | 300/シャフト | ±150/ シャフト | ±150/ シャフト | μm±10% |
| センサータイプ | SGS/- | SGS/- | SGS/- | |
| 貫通穴サイズ | 66 x 66 | 66 x 66 | 66 x 66 | mm |
| クローズド/オープンループ分解能 | 8/2.5 | 8/2.5 | 8/2.5 | nm |
| 閉ループ直線性 | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. |
| クローズドループの繰り返し位置決め精度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. |
| ピッチ／ヨー／ロール | <30 | <150 | <150 | μrad |
| プッシュ/プル | 50/10 | 200/10 | 200/10 | N |
| 運動方向剛性 | 0.1 | 1 | 1 | N/μm±20% |
| 無負荷時共振周波数 | 140/170/220 | 190/145/249 | 180/200/200 | Hz±20% |
| 負荷による共振周波数 | – | 145/110/145(@300 g) | 49/49/69(@5 kg) | Hz±20% |
| 閉ループ／開ループ無負荷ステップ時間 | 60/10 | – | – | ms±20% |
| キャリングキャパシティ | 0.5 | 3 | 5 | kg |
| 静電容量 | XY10.8/Z13.2 | 21.6/1軸あたり | 21.6/21.6/43 | μF±20% |
| 素材 | アルミニウム | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム | |
| 重量 | 0.83 | – | – | g±5% |
** 超低温仕様、超高真空仕様のカスタマイズが可能です。
*** コネクタはカスタマイズが可能です。
注1: 上記のパラメータは、試験環境および試験装置に関するものです。 移動テーブルの表面の平行度は約20 μm、粗さは約1.6～3.2、特別な要件は購入前にセールスエンジニアに確認してください。 .
注2: 上記のパラメータはE00/E01シリーズ圧電コントローラを使用して測定したもので、駆動電圧は-20 V～150 Vの範囲で使用できます。高い信頼性と長期的な使用のために、駆動電圧は0～120 Vの範囲にすることをお勧めします。
P15.XY100S/K-C1 模式図
P15.XYZ100 模式図
P15.XYZ300 模式図 P15.XYZ300S/K-C1 模式図 P15.XYZ300S/K-C2 模式図 
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