ピエゾ位置決めステージ P15.XYZ300S/K-C2 は、3軸移動のピエゾ位置決めステージであり、1軸あたり最大310 μmの移動量、中央には透過光アプリケーションに最適な大型貫通穴を備えています。
仕様
| 型番 | P15.XYZ300S-C2 | P15.XYZ300K-C2 | 単位 |
| 移動方向 | X、Y、Z | X、Y、Z | |
| 駆動制御 | 3軸 | 3軸 | |
| 移動範囲（0〜120 V） | 248/軸 | 248/軸 | μm±10% |
| 移動範囲（0～150 V） | 310/アクセル | 310/アクセル | μm±10% |
| センサータイプ | SGS | ||
| 貫通穴サイズ | 66 x 66 | 66 x 66 | mm |
| 外形寸法図 | 150×150×35 | 150×150×35 | mm |
| クローズド/オープンループ分解能 | 10 | 5 | nm |
| 閉ループ直線性 | 0.2 | – | %F.S. |
| クローズドループの繰り返し位置決め精度 | 0.15 | – | %F.S. |
| ピッチ／ヨー／ロール | <100 | <100 | μrad |
| 移動方向剛性 | 1 | 1 | N/μm±20% |
| プッシュ／プル | 200/10 | 200/10 | N |
| 無負荷時共振周波数 | 180/200/200 | 180/200/200 | Hz±20％ |
| 負荷による共振周波数 | 49/49/69（＠5kg） | 49/49/69（＠5kg） | Hz±20％ |
| キャリングキャパシティ | 5 | 5 | kg |
| 静電容量 | 21.6/21.6/43 | 21.6/21.6/43 | μF±20％ |
| テーブル素材 | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム |
注）上記パラメータは、ピエソコントローラE00/E01シリーズを使用して測定したものです。最大駆動電圧は-20V～150 Vまで可能です。高信頼性、長期使用のためには、0～120 Vの駆動電圧を推奨します。
模式図
