P18.XYZ ピエゾ位置決めステージは、高性能ピエゾセラミックスを駆動素子として内蔵し、SGSセンサーの閉ループで精密かつ高速な位置決め動作を実現し、製品はコンパクトで組み込みやすく、高い繰り返し位置精度と動的位置決め性能を有しています。
仕様
| 型番(S閉ループ/K開ループ) | P18.XYZ200S | P18.XYZ200K | 単位 |
| 移動方向 | X，Y，Z | X，Y，Z | |
| 駆動制御 | 3軸 | 3軸 | |
| 移動量(0～100 V) | – | – | μm±10% |
| 移動量(0～120 V) | 160 | 160 | μm±10% |
| ストローク範囲(0~120 V) | – | – | μm±10% |
| ストローク範囲(0～150 V) | 200 | 200 | μm±10% |
| センサータイプ | SGS | – | |
| 貫通穴サイズ | Ø35 | Ø35 | mm |
| 分解能 | 7 | 2 | nm, typ. |
| 閉ループ直線性 | 0.4 | – | %F.S. |
| クローズドループの繰り返し位置決め精度 | 0.2 | – | %F.S. |
| ピッチ/ヨー/ロール | <25 | <25 | μrad |
| プッシュ/プルの動作方向 | 30/10 | 30/10 | N |
| 運動方向の硬さ | X0.1/Y0.1/Z0.1 | X0.1/Y0.1/Z0.1 | N/µm±20% |
| 無負荷共振周波数 | X120/Y200/Z300 | X120/Y200/Z300 | Hz±20% |
| 無負荷ステップ時間 | 80 | 10 | ms±20% |
| 閉ループ動作周波数 (-3 dB) | – | – | Hz±20% |
| キャリングキャパシティ | 0.8 | 0.8 | kg |
| 静電容量 | 11 | 11 | μF/軸±20% |
| 材質 | アルミニウム | アルミニウム | |
| 重量 | 750 | 750 | g±5% |
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** 低温仕様、高真空仕様のカスタマイズも可能です。 *** 顕微鏡アダプターに依存します。 **** コネクタはカスタマイズ可能です。 注1: 上記のパラメータは、試験環境および試験装置に関するものです。 位置決めテーブルの表面の平行度は約20 μm、粗さは約1.6～3.2、特別な要件は購入前に確認してください。 注2: 上記のパラメータは、E00/E01シリーズビエゾコントローラを使用して測定したものです。最大駆動電圧は-20 V～150 Vの範囲で使用できます。高信頼性の長期使用には、駆動電圧が0～120 Vの範囲であることをお勧めします。 |
模式図
