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P79.XYZ50 顕微鏡用ピエゾ位置決めステージ

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P79.XYZ50

 

  P79シリーズ顕微鏡ビエゾ位置決めステージは、マクロXY軸顕微鏡ステージや市販のピエゾモーターステージと組み合わせて使用するために設計された1~3軸のマイクロマニピュレーターステージです。マクロXY軸ステージが位置決めされると、P79ステージはミリ秒単位のステップ移動で高速かつ正確なXYZ軸フォーカシングを可能にします。

製品の特徴

  1. クローズドループ位置決めにおける高い再現性
  2. 移動方向 XYZ軸
  3. 負荷容量 0.5 kg
  4. 変位量 50 μm
  5. 真空仕様もあり

仕様
型番

P79.XYZ50S
P79.XYZ50K

単位

移動方向

X、Y、Z

 

移動範囲(0〜120 V)

40/ シャフト

μm±20%

移動範囲(0~150 V)

50/ シャフト

μm±20%

センサータイプ

SGS/-

 

貫通穴サイズ

84 x 65

mm

クローズド/オープンループ分解能

1.5/0.5

nm

閉ループ直線性

0.1/- .

%F.S.

クローズドループの繰り返し位置決め精度

0.05/-

%F.S.

ピッチ/ヨー/ロール

<20

μrad

プッシュ/プル

25/-

N

運動方向剛性

0.5

N/μm±20%

無負荷時共振周波数

X525/Y630/Z490

Hz±20%

閉ループ/開ループ無負荷ステップ時間

30/6

ms±20%

静電容量

3.2/ シャフト

μF±20%

素材

スチール、アルミニウム

 

重量

720

g±5%

        注:上記のパラメータは、E00/E01シリーズピエゾコントローラーを使用して測定したもので、駆動電圧は-20 V~150 Vの範囲で使用できます。高い信頼性と長期の使用のために、駆動電圧は0~120 Vの範囲であることが推奨されます。

 

 


模式図

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