P79シリーズ顕微鏡ビエゾ位置決めステージは、マクロXY軸顕微鏡ステージや市販のピエゾモーターステージと組み合わせて使用するために設計された1～3軸のマイクロマニピュレーターステージです。マクロXY軸ステージが位置決めされると、P79ステージはミリ秒単位のステップ移動で高速かつ正確なXYZ軸フォーカシングを可能にします。
製品の特徴
- クローズドループ位置決めにおける高い再現性
- 移動方向 XYZ軸
- 負荷容量 0.5 kg
- 変位量 50 μm
- 真空仕様もあり
| 仕様 | |||
| 型番 |
P79.XYZ50S |
単位 |
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移動方向 |
X、Y、Z |
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移動範囲（0〜120 V） |
40/ シャフト |
μm±20% |
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移動範囲（0～150 V） |
50/ シャフト |
μm±20% |
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センサータイプ |
SGS/- |
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貫通穴サイズ |
84 x 65 |
mm |
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クローズド/オープンループ分解能 |
1.5/0.5 |
nm |
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閉ループ直線性 |
0.1/- . |
%F.S. |
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クローズドループの繰り返し位置決め精度 |
0.05/- |
%F.S. |
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ピッチ／ヨー／ロール |
<20 |
μrad |
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プッシュ／プル |
25/- |
N |
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運動方向剛性 |
0.5 |
N/μm±20% |
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無負荷時共振周波数 |
X525/Y630/Z490 |
Hz±20% |
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閉ループ／開ループ無負荷ステップ時間 |
30/6 |
ms±20% |
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静電容量 |
3.2/ シャフト |
μF±20% |
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素材 |
スチール、アルミニウム |
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重量 |
720 |
g±5% |
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注：上記のパラメータは、E00/E01シリーズピエゾコントローラーを使用して測定したもので、駆動電圧は-20 V～150 Vの範囲で使用できます。高い信頼性と長期の使用のために、駆動電圧は0～120 Vの範囲であることが推奨されます。
模式図
