
顕微鏡ピエゾ位置決めステージP79シリーズは、マクロXY軸顕微鏡ステージや市販のピエゾモーターステージと組み合わせて使用するために設計された1~3軸のマイクロマニピュレーターステージです。マクロXY軸ステージが位置決めされると、P79ステージはミリ秒単位のステップタイムで高速かつ正確にXYZ軸の焦点調節を可能にします。
仕様
型番 | P79.XYZ50S-B2 P79.XYZ50K-B2 | 単位 |
運動軸方向 | X、Y、Z | |
移動範囲(0〜120V) | 40/ シャフト | μm±20% |
移動範囲(0~150V) | 50/ シャフト | μm±20% |
センサータイプ | SGS/- | |
貫通穴サイズ | 84×65 | mm |
クローズド/オープンループ分解能 | 1.5/0.5 | nm |
閉ループ直線性 | 0.1/- | %F.S. |
クローズドループの繰り返し位置決め精度 | 0.05/- | %F.S. |
ピッチ/ヨー/ロール | <20 | μrad |
プッシュ/プル | 25/- | N |
運動方向剛性 | 0.5 | N/μm±20% |
無負荷時共振周波数 | X499/Y589/Z470 | Hz±20% |
閉ループ/開ループ無負荷ステップ時間 | 30/6 | ms±20% |
キャリングキャパシティ | 0.5 | kg |
静電容量 | 3.2/ シャフト | μF±20% |
素材 | スチール、アルミニウム | |
重量 | 1400 | g±5% |
注:上記のパラメータは、E00/E01シリーズのピエゾコントローラを使用して測定したもので、駆動電圧は-20Vから150Vまで可能です。高い信頼性と長期間の使用には、駆動電圧は0から120Vまでとすることをお勧めします。
模式図
