顕微鏡ピエゾ位置決めステージP79シリーズは、マクロXY軸顕微鏡ステージや市販のピエゾモーターステージと組み合わせて使用するために設計された1～3軸のマイクロマニピュレーターステージです。マクロXY軸ステージが位置決めされると、P79ステージはミリ秒単位のステップタイムで高速かつ正確にXYZ軸の焦点調節を可能にします。
仕様
| 型番 | P79.XYZ50S-B2 P79.XYZ50K-B2 | 単位 |
| 運動軸方向 | X、Y、Z | |
| 移動範囲（0〜120V） | 40/ シャフト | μm±20% |
| 移動範囲（0～150V） | 50/ シャフト | μm±20% |
| センサータイプ | SGS/- | |
| 貫通穴サイズ | 84×65 | mm |
| クローズド/オープンループ分解能 | 1.5/0.5 | nm |
| 閉ループ直線性 | 0.1/- | %F.S. |
| クローズドループの繰り返し位置決め精度 | 0.05/- | %F.S. |
| ピッチ／ヨー／ロール | <20 | μrad |
| プッシュ／プル | 25/- | N |
| 運動方向剛性 | 0.5 | N/μm±20% |
| 無負荷時共振周波数 | X499/Y589/Z470 | Hz±20% |
| 閉ループ／開ループ無負荷ステップ時間 | 30/6 | ms±20% |
| キャリングキャパシティ | 0.5 | kg |
| 静電容量 | 3.2/ シャフト | μF±20% |
| 素材 | スチール、アルミニウム | |
| 重量 | 1400 | g±5% |
注：上記のパラメータは、E00/E01シリーズのピエゾコントローラを使用して測定したもので、駆動電圧は-20Vから150Vまで可能です。高い信頼性と長期間の使用には、駆動電圧は0から120Vまでとすることをお勧めします。
模式図
