レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

Z軸自動ステージ、ZF軸位置決めステージのワイヤード株式会社/移動量20、50mm

自動ステージ:ZF軸ステージ

AZ120-20ZF/AZ120-50ZF【ZF軸ステージ】

AZ120-20ZF AZ120-50ZF

高負荷に耐えられるように設計された高精度、高剛性の自動水平面型Z軸ステージです。

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各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。

AZ120-20ZF AZ120-50ZF
AZ120-20ZF AZ120-50ZF
製品詳細
品番 AZ120-20ZF AZ120-50ZF
価 格(税別) ¥390,000 ¥408,000
移動量 20mm 50mm
テーブルサイズ 120mm×120mm 120mm×120mm
5相ステッピングモータ TS3667N43E7 (多摩川精機製)0.75A TS3624N21 (多摩川精機製)1.4A
分解能フルステップ (ハーフステップ) 1μm(0.5μm) ※注1) 1μm(0.5μm) ※注1)
ネジ径・リード Φ6×1 Φ8×1
送り機構 ボールネジ・くさび方式 ボールネジ・くさび方式
移動ガイド LMガイド くさび:LMガイド 駆動:アウタレール
位置決め精度 30μm 30μm
繰り返し位置決め精度 ±3μm ±3μm
バックラッシュ 5μm 5μm
平行度(面全体) 50μm 50μm
耐荷重 20kg 20kg
質量 約6kg 約9kg
最大移動速度 10mm/sec ※注2) 10mm/sec ※注2)
本体材質 本体:アルミ テーブル、ベース:スチール 本体:アルミ テーブル、ベース:スチール
表面処理 本体:黒アルマイト テーブル、ベース:ニッケルメッキ 本体:黒アルマイト テーブル、ベース:ニッケルメッキ
リミット/機械原点センサ PM-L24 (サンクス製) PM-L24 (サンクス製)
ステージ側コネクタ DA-15PF-N (日本航空電子製) DA-15PF-N (日本航空電子製)
結線図
適用コントローラ SC-102
構成図

※注1)ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

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