レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

サブミクロン位置決めステージのワイヤード株式会社/移動量20、50mm

自動ステージ:X軸ステージ サブミクロン位置決めステージ

FS-1020/FS-1050【サブミクロン位置決めステージ】


FS-1020

FS-1050

リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージです。
フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。

図面・CADデータをダウンロード

各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。
※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。


FS-1020

FS-1050

FS-1020

FS-1050
製品詳細
品番 FS-1020 FS-1050
価 格(税別) ¥320,000 ¥400,000
移動量 20mm 50mm
テーブルサイズ 60mm×60mm 120mm×120mm
5相ステッピングモータ PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
最小分解能 0.05/0.1μm ※注2) 0.05/0.1μm ※注2)
ネジ径・リード Φ4×1 Φ6×1
送り機構 ボールネジ ボールネジ
移動ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド
繰り返し位置決め精度 ±0.1/±0.2μm ※注1) ※注2) ±0.1/±0.2μm ※注1) ※注2)
走り平行度 10μm 10μm
耐荷重 5kg 10kg
質量 約0.5kg 約1.6kg
最大移動速度 10mm/sec ※注3) 10mm/sec ※注3)
本体材質 アルミ合金 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト
内蔵スケール信号周期 4μm 4μm
内蔵スケール素材 クォーツガラス(TQZ) クォーツガラス(TQZ)
スケール線膨張係数 0.5×10-6/℃ 0.5×10-6/℃
リミット/機械原点センサ EE-SX1103
(オムロン製)
EE-SX1103
(オムロン製)
結線図
適用コントローラ FC-101/FC-401
構成図

※注1)ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。
※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

お気軽にお問い合わせください TEL 03-3488-5734 受付時間 9:00 - 18:00 [ 土・日・祝日除く ]

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