レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

サブミクロン位置決めステージのワイヤード株式会社/移動量100、150mm

自動ステージ:X軸ステージ サブミクロン位置決めステージ

FS-1100/FS-3150【サブミクロン位置決めステージ】

FS-1100

FS-3150

リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージです。
フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。

図面・CADデータをダウンロード

各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。
※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。


FS-1100

FS-3150

FS-1100

FS-3150
製品詳細
品番 FS-1100 FS-3150
価 格(税別) ¥485,000 ¥680,000
移動量 100mm 150mm
テーブルサイズ 120mm×120mm 120mm×170mm
5相ステッピングモータ PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
最小分解能 0.05/0.1μm ※注2) 0.05/0.1μm ※注2)
ネジ径・リード Φ6×1 Φ6×1
送り機構 ボールネジ ボールネジ
移動ガイド LMガイド LMガイド
繰り返し位置決め精度 ±0.1/±0.2μm ※注1) ※注2 ±0.1/±0.2μm ※注1) ※注2
走り平行度 10μm 10μm
耐荷重 10kg 10kg
質量 約2.1kg 約3kg
最大移動速度 10mm/sec ※注3) 10mm/sec ※注3)
本体材質 アルミ合金 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト
内蔵スケール信号周期 4μm 4μm
内蔵スケール素材 クォーツガラス(TQZ) 青板ガラス
スケール線膨張係数 0.5×10-6/℃ 9×10-6/℃
リミット/機械原点センサ EE-SX1103
(オムロン製)
EE-SX1103
(オムロン製)
結線図
適用コントローラ FC-101/FC-401
構成図

※注1)ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。
※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

お気軽にお問い合わせください TEL 03-3488-5734 受付時間 9:00 - 18:00 [ 土・日・祝日除く ]

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