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10ナノ位置決めZ軸ステージのワイヤード株式会社/移動量5、10mm

自動ステージ:ZF軸ステージ 10ナノ位置決めZ軸ステージ

FS-1005PZ/FS-1010PZ【10ナノ位置決めZ軸ステージ】

FS-1005PZ FS-1010PZ

 

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FS-1005PZ FS-1010PZ
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製品詳細
品番 FS-1005PZ FS-1010PZ
価 格(税別) ¥650,000 ¥800,000
移動量 5mm 10mm
テーブルサイズ 120mm×120mm 120mm×120mm
5相ステッピングモータ PMU33BH2 (オリエンタル製)0.5A PMU33BH2 (オリエンタル製)0.5A
最小分解能 0.01μm(10nm) 0.01μm(10nm)
ネジ径・リード Φ6×1 Φ6×1
送り機構 ボールネジ ボールネジ
移動ガイド LMガイド+クロスローラ LMガイド+クロスローラ
繰り返し位置決め精度 ±0.2μm ※注1) ±0.2μm ※注1) ※注2)
走り平行度
耐荷重 5kg 5kg
質量 約1.6kg 約1.7kg
最大移動速度 10mm/sec ※注3) 10mm/sec ※注3)
本体材質 アルミ合金 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト
内蔵スケール信号周期 4μm 4μm
内蔵スケール素材 クォーツガラス(TQZ) クォーツガラス(TQZ)
スケール線膨張係数 0.5×10-6/℃ 0.5×10-6/℃
リミット/機械原点センサ EE-SX1103 (オムロン製) EE-SX1103 (オムロン製)
結線図
適用コントローラ FC-501
構成図 compo_fsp

※注1)ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

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