レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

テンナノ位置決めステージのワイヤード株式会社/移動量20、50mm

自動ステージ:X軸ステージ テンナノ位置決めステージ

FS-1020P/FS-1050P【10ナノ位置決めステージ】


FS-1020P

FS-1050P

ピエゾ素子を使わずボールネジのみで10nm分解能を達成しました。
リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージです。
フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。

図面・CADデータをダウンロード

各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。
※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。


FS-1020P

FS-1050P

FS-1020P

FS-1050P
製品詳細
品番 FS-1020P FS-1050P
価 格(税別) ¥350,000 ¥450,000
移動量 20mm 50mm
テーブルサイズ 60mm×60mm 120mm×120mm
5相ステッピングモータ PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
最小分解能 0.01μm 0.01μm
ネジ径・リード Φ4×1 Φ6×1
送り機構 ボールネジ ボールネジ
移動ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド
繰り返し位置決め精度 ±0.02μm ※注1) ±0.02μm ※注1)
走り平行度 10μm 10μm
耐荷重 5kg 10kg
質量 約0.5kg 約1.6kg
最大移動速度 10mm/sec ※注2) 10mm/sec ※注2)
本体材質 アルミ合金 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト
内蔵スケール信号周期 4μm 4μm
内蔵スケール素材 クォーツガラス(TQZ) クォーツガラス(TQZ)
スケール線膨張係数 0.5×10-6/℃ 0.5×10-6/℃
リミット/機械原点センサ EE-SX1103
(オムロン製)
EE-SX1103
(オムロン製)
結線図
適用コントローラ FC-501
構成図

※注1)内蔵スケール(PS-100)の読取値に対する繰返し位置決め精度です。
※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

お気軽にお問い合わせください TEL 03-3488-5734 受付時間 9:00 - 18:00 [ 土・日・祝日除く ]

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