レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

顕微鏡ステージのワイヤード株式会社

自動ステージ・XY軸ステージ 顕微鏡ステージ

LU-SX150/LU-SX200【顕微鏡ステージ】

LU-SX150 LU-SX200

φ100、φ150の透過用穴付き自動XY軸ステージです。 研削仕上げをした高精度で薄型仕様になっています。 顕微鏡の型式を御指示いただければ取付アダプタ及びサンプル台(ウェハチャック)など検討し製作させていただきます。 (注)物理的に取付かない顕微鏡もございますので御相談ください。

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各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。

LU-SX150 LU-SX200
LU-SX150 LU-SX200
製品詳細
品番 LU-SX150 LU-SX200
価 格(税別) ¥1,530,000 ¥1,692,000
移動量 150mm 200mm
テーブルサイズ 260mm×260mm 310mm×310mm
5相ステッピングモータ PK543N-B (オリエンタル製)0.75A PK543N-B (オリエンタル製)0.75A
分解能フルステップ (ハーフステップ) 4μm(2μm) ※注1) 2μm(1μm) ※注1)
ネジ径・リード Φ10×2 Φ8×1
送り機構 ボールネジ ボールネジ
移動ガイド クロスローラガイドHR UP級 クロスローラガイドHR UP級
位置決め精度 20μm 20μm
繰り返し位置決め精度 ±2μm ±2μm
バックラッシュ 1μm 1μm
走り平行度 20μm 20μm
XY直角度 12μm 12μm
XY平行度
耐荷重 0.5kg 0.5kg
質量 約8kg 約11kg
最大移動速度 10mm/sec ※注2) 10mm/sec ※注2)
本体材質 アルミ アルミ
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト
リミット/機械原点センサ PM-L24 (サンクス製) PM-L24 (サンクス製)
ステージ側コネクタ DA-15PF-N (日本航空電子) DA-15PF-N (日本航空電子)
結線図
適用コントローラ SC-104
構成図

※注1)ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

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