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10ナノ位置決めステージのワイヤード株式会社/移動量100、150mm

自動ステージ・X軸ステージ 10ナノ位置決めステージ

FS-1100P/FS-3150P【10ナノ位置決めステージ】


FS-1100P

FS-3150P

ピエゾ素子を使わずボールネジのみで10nm分解能を達成しました。
リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動直動ステージです。
フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。

図面・CADデータをダウンロード

各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。
※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。


FS-1100P

FS-3150P

FS-1100P

FS-3150P
製品詳細
品番 FS-1100P FS-3150P
価 格(税別) ¥550,000 ¥750,000
移動量 100mm 150mm
テーブルサイズ 120mm×120mm 120mm×170mm
5相ステッピングモータ PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
最小分解能 0.01μm 0.01μm
ネジ径・リード Φ6mm×1 Φ6mm×1
送り機構 ボールネジ ボールネジ
移動ガイド LMガイド LMガイド
繰り返し位置決め精度 ±0.02μm ※注1) ±0.02μm ※注1)
走り平行度 10μm 10μm
耐荷重 10kg 10kg
質量 約2.1kg 約3kg
最大移動速度 10mm/sec ※注2) 10mm/sec ※注2)
主材質 アルミ合金 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト
内蔵スケール信号周期 4μm 4μm
内蔵スケール素材 クォーツガラス(TQZ) 青板ガラス
スケール線膨張係数 0.5×10-6/℃ 9×10-6/℃
リミット/機械原点センサ EE-SX1103
(オムロン製)
EE-SX1103
(オムロン製)
適用コントローラ FC-501
構成図

※注1)内蔵スケール(PS-100)の読取値に対する繰返し位置決め精度です。
※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

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