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5ナノ位置決めステージのワイヤード株式会社/移動量20、50mm

自動ステージ・X軸ステージ 5ナノ位置決めステージ

FS-1020SP/FS-1050SP【5ナノ位置決めステージ】


FS-1020SP

FS-1050SP

ピエゾ素子を使わずボールネジのみで5nm分解能を達成しました。
リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージです。
フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。
注)恒温室以外で使用すると位置決めが安定しない場合があります。詳しくは担当者までご連絡ください。

図面・CADデータをダウンロード

各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。
※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。


FS-1020SP

FS-1050SP

FS-1020SP

FS-1050SP
製品詳細
品番 FS-1020SP FS-1050SP
価 格(税別) ¥450,000 ¥550,000
移動量 20mm 50mm
テーブルサイズ 60mm×60mm 120mm×120mm
5相ステッピングモータ PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
PMU33BH2
(オリエンタル製)0.5A
最小分解能 0.005μm 0.005μm
ネジ径・リード Φ4×1 Φ4×1
送り機構 ボールネジ ボールネジ
移動ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド
繰り返し位置決め精度 ±0.01μm ※注1) ±0.01μm ※注1)
走り平行度 10μm 10μm
耐荷重 5kg 10kg
質量 約0.5kg 約1.6kg
最大移動速度 5mm/sec ※注2) 5mm/sec ※注2)
本体材質 アルミ合金 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト
内蔵スケール信号周期 4μm 4μm
内蔵スケール素材 クォーツガラス(TQZ) クォーツガラス(TQZ)
スケール線膨張係数 0.5×10-6/℃ 0.5×10-6/℃
リミット/機械原点センサ EE-SX1103
(オムロン製)
EE-SX1103
(オムロン製)
適用コントローラ FC-601
構成図

※注1)内蔵スケール(PS-100)の読取値に対する繰返し位置決め精度です。
※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

お気軽にお問い合わせください TEL 03-3488-5734 受付時間 9:00 - 18:00 [ 土・日・祝日除く ]

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