レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

高剛性クロズドループ制御自動ステージのワイヤード株式会社/材質:鉄

自動ステージ:X軸ステージ 高剛性クローズド制御自動ステージ

SK120-50XLA/SK120-100XLA/SK120-150XLA【高剛性クローズド制御自動ステージ】

精密加工による機械精度を追求し、各取付部を精密研磨で仕上げ、ガイド、ボールネジにも最高級品を採用することにより長期にわたって安定した精度と剛性を保証した自動位置決めステージです。
ピエゾ素子を使わずボールネジのみで10nm分解能を達成しました。
フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。
高精度なエアースライダ、セラミックステージに比べて安価です。
本製品はアルミ製ですが、スチール製(鉄製)で剛性を寄り高めた製作もありますので別途お問い合わせ下さい。


SK120-50XLA

SK120-100XLA

SK120-150XLA
図面・CADデータをダウンロード

各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。
※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。


SK120-50XLA

SK120-100XLA

SK120-150XLA

SK120-50XLA

SK120-100XLA

SK120-150XLA
製品詳細
品番 SK120-50XLA SK120-100XLA SK120-150XLA
価 格(税別) ¥620,000 ¥720,000 ¥950,000
移動量 50mm 100mm 150mm
テーブルサイズ 120mm×120mm 120mm×120mm 120mm×120mm
5相ステッピングモータ TS3667N
(多摩川精機製)0.75A
TS3667N
(多摩川精機製)0.75A
TS3667N
(多摩川精機製)0.75A
分解能フルステップ
(ハーフステップ)
2μm(1μm)※注1) 2μm(1μm)※注1) 2μm(1μm)※注1)
ネジ径・リード Φ10×1(C0級) Φ10×1(C0級) Φ10×1(C0級)
送り機構 ボールネジ ボールネジ ボールネジ
移動ガイド HR型LMガイド(UP級) HR型LMガイド(UP級) HR型LMガイド(UP級)
位置決め精度 4μm 6μm 8μm
繰り返し位置決め精度 ±0.02μm ※注1) ±0.02μm ※注1) ±0.02μm ※注1)
走り平行度 6μm 8μm 10μm
耐荷重 20kg 20kg 20kg
質量 約3.5kg 約4.0kg 約4.5kg
最大移動速度 20mm/sec ※注2) 20mm/sec ※注2) 20mm/sec ※注2)
本体材質 アルミ アルミ アルミ
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト 黒アルマイト
リミット/機械原点センサ PM-L24
(サンクス製)
PM-L24
(サンクス製)
PM-L24
(サンクス製)
ステージ側コネクタ DA-15PF-N
(日本航空電子)
DA-15PF-N
(日本航空電子)
DA-15PF-N
(日本航空電子)
内蔵スケール信号周期 4μm 4μm 4μm
内蔵スケール素材 クォーツガラス(TQZ) クォーツガラス(TQZ) 青板ガラス
スケール線膨張係数 0.5×10-6/℃ 0.5×10-6/℃ 9×10-6/℃
結線図
適用コントローラ FC-502
構成図

レーザ測長器による測定データを標準添付いたします。
測定データは国際規格(ISO230-2)に準拠した測定方法となります。
※注1)内蔵スケール(PS-100)の読取値に対する繰返し位置決め精度です。
※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

お気軽にお問い合わせください TEL 03-3488-5734 受付時間 9:00 - 18:00 [ 土・日・祝日除く ]

PAGETOP
©WIRED CORPORATION All Rights Reserved.