レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

ガラススケール内臓スリムステージのワイヤード株式会社

自動ステージ・X軸ステージ ガラススケール内蔵スリム自動ステージ

SW40-20X/SW40-40X/SW40-60X(受注生産品)【ガラススケール内蔵スリム自動ステージ】

SW40シリーズ

狭いスペースに置いて高精度な位置決めが可能です。 XYなどシステムに組み付けた場合、自重によるたわみを少なくできます。 シグマ光機(株)製のコントローラを使用できますので、従来シグマ光機で販売しているガラススケール内蔵自動ステージと連動して使用することも可能です。 高性能ガイド機構及び小型ボールネジ、小型リニアスケールを一体構造にすることにより、高剛性・高精度・小型スリム化が可能になりました。 移動量20mm、40mm、60mmの3機種及び準特注品として10mm、80mmの2機種がラインナップしています。

製品詳細
品番 SW40-20X SW40-40X SW40-60X
価 格(税別) お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
移動量 20mm 40mm 60mm
テーブルサイズ 40mm×40mm 40mm×40mm 40mm×40mm
分解能フルステップ (ハーフステップ) 2μm(1μm) 2μm(1μm) 2μm(1μm)
基本分解能 0.01μm ※ 0.01μm ※ 0.01μm ※
最大速度 5mm/s 5mm/s 5mm/s
耐荷重 2kgf 2kgf 2kgf
位置決め精度 5μm 7μm 8μm
繰り返し位置決め精度 1μm以下(1方向繰り返し) 1μm以下(1方向繰り返し) 1μm以下(1方向繰り返し)
ロストモーション 1μm以下 1μm以下 1μm以下
自重 0.65kgf 0.65kgf 0.65kgf
モーター ステッピングモーター ステッピングモーター ステッピングモーター
ネジ リード1mmボールネジ リード1mmボールネジ リード1mmボールネジ
ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド クロスローラガイド

※スケール分解能が0.05μmですので、この値以下の移動はできません。

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