レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

サブミクロン・10nm分解能微小回転ステージ

■特長
微小回転用スイベルステージです。回転方向の調整用に適しています。
自社開発リニアエンコーダを内蔵し、位置再現性と保持性に優れています。

仕様

型式 テーブルサイズ(mm) ストローク(mm) 耐荷重(N/kgf) 質量(kg) 最小分解能(°)※1 繰位置決め精度※1 最大スイベル速度(°/sec)
FS-1120θ □120 ±4 98/10 2 0.00005 ±0.0001 1
0.0001 ±0.0002
FS-1120Pθ □120 ±4 98/10 2 0.00001 ±0.00002 1
 
構成
ボールねじ φ6mm リード1mm
移動ガイド クロスローラリング
駆動モータ □28mm 5相ステッピングモータ
主材質 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト
センサ リミットセンサ
内蔵スケール
信号周期 4μm
材質 クオーツガラス(TQZ)
線膨張係数 0.5 x 10-6/℃
スケールケーブル(※3) 2m

※1:内蔵スケールの読み取り値に対する 『最小分解能』 及び 『繰返し位置決め精度』 です。
※2:ストローク 100mm あたりの走り平行度です。
※3:スケールケーブルはステージから直接出ています。 2m 以上必要な場合は 『スケール延長ケーブル』 を別途ご用意ください。
※FS-1120θはコントローラによって分解能が異なります。別途お問合せ下さい。

FS-1120θ図面

FS-1120Pθ図面

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