レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

サブミクロン位置決めステージのワイヤード株式会社/移動量20、50mm

自動ステージ:X軸ステージ・サブミクロン位置決めステージ

FS-1020X/FS-1050X【サブミクロン位置決めステージ】

FS-1020X サブミクロン位置決めステージ3・50mm FS-1050X

リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージです。 フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。

図面・CADデータをダウンロード

各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。

FS-1020X FS-1050X
FS-1020X FS-1050X
 
製品詳細
品番 FS-1020X FS-1050X
価 格(税別) ¥320,000 ¥400,000
移動量 20mm 50mm
テーブルサイズ 60mm×60mm 120mm×120mm
5相ステッピングモータ PMU33BH2 (オリエンタル製)0.5A PMU33BH2 (オリエンタル製)0.5A
最小分解能 0.05/0.1μm ※注2) 0.05/0.1μm ※注2)
ネジ径・リード Φ4×1 Φ6×1
送り機構 ボールネジ ボールネジ
移動ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド
繰り返し位置決め精度 ±0.1/±0.2μm ※注1) ※注2) ±0.1/±0.2μm ※注1) ※注2)
走り平行度 10μm 10μm
耐荷重 5kg 10kg
質量 約0.5kg 約1.6kg
最大移動速度 10mm/sec ※注3) 10mm/sec ※注3)
本体材質 アルミ合金 アルミ合金
表面処理 黒アルマイト 黒アルマイト
内蔵スケール信号周期 4μm 4μm
内蔵スケール素材 クォーツガラス(TQZ) クォーツガラス(TQZ)
スケール線膨張係数 0.5×10-6/℃ 0.5×10-6/℃
リミット/機械原点センサ EE-SX1103 (オムロン製) EE-SX1103 (オムロン製)
結線図
適用コントローラ FC-111/FC-411

※注1)ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。

自動ステージ、光学部品、特注システム、防振台のワイヤード株式会社

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