自動ステージ：Ｘ軸ステージ サブミクロン位置決めステージ
FS-1100X／FS-3150X【サブミクロン位置決めステージ】
FS-1100X 
FS-3150Xリニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージです。 フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。
図面・CADデータをダウンロード
各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。
 FS-1100X |
FS-3150X |
 FS-1100X |
FS-3150X |
製品詳細
| 品番 | FS-1100X | FS-3150X |
| 価 格（税別） | ￥485,000 | ￥680,000 |
| 移動量 | 100mm | 150mm |
| テーブルサイズ | 120mm×120mm | 120mm×170mm |
| 5相ステッピングモータ | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A |
| 最小分解能 | 0.05/0.1μm ※注2) | 0.05/0.1μm ※注2) |
| ネジ径・リード | Φ6×1 | Φ6×1 |
| 送り機構 | ボールネジ | ボールネジ |
| 移動ガイド | LMガイド | LMガイド |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.1/±0.2μm ※注1) ※注2 | ±0.1/±0.2μm ※注1) ※注2 |
| 走り平行度 | 10μm | 10μm |
| 耐荷重 | 10kg | 10kg |
| 質量 | 約2.1kg | 約3kg |
| 最大移動速度 | 10mm/sec ※注3) | 10mm/sec ※注3) |
| 本体材質 | アルミ合金 | アルミ合金 |
| 表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
| 内蔵スケール信号周期 | 4μm | 4μm |
| 内蔵スケール素材 | クォーツガラス（TQZ） | 青板ガラス |
| スケール線膨張係数 | 0.5×10-6/℃ | 9×10-6/℃ |
| リミット/機械原点センサ | EE-SX1103 （オムロン製） | EE-SX1103 （オムロン製） |
| 結線図 |  |
|
| 適用コントローラ | FC-111／FC-411 | |
※注1）ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2）無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
