ZF軸ステージ・Z軸ステージ
10ナノ位置決めＺ軸ステージ
FS-1005PZ 
FS-1010PZ図面・CADデータをダウンロード
各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。
 FS-1005PZ |
FS-1010PZ |
 FS-1005PZ |
FS-1010PZ |
製品詳細
| 品番 | FS-1005PZ | FS-1010PZ |
| 価 格（税別） | ￥650,000 | ￥800,000 |
| 移動量 | 5mm | 10mm |
| テーブルサイズ | 120mm×120mm | 120mm×120mm |
| 5相ステッピングモータ | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A |
| 最小分解能 | 0.01μm(10nm) | 0.01μm(10nm) |
| ネジ径・リード | Φ6×1 | Φ6×1 |
| 送り機構 | ボールネジ | ボールネジ |
| 移動ガイド | LMガイド＋クロスローラ | LMガイド＋クロスローラ |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.2μｍ ※注1) | ±0.2μm ※注1) ※注2) |
| 走り平行度 | − | − |
| 耐荷重 | 5kg | 5kg |
| 質量 | 約1.6kg | 約1.7kg |
| 最大移動速度 | 5mm/sec ※注2) | 5mm/sec ※注2) |
| 本体材質 | アルミ合金 | アルミ合金 |
| 表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
| 内蔵スケール信号周期 | 4μm | 4μm |
| 内蔵スケール素材 | クォーツガラス（TQZ） | クォーツガラス（TQZ） |
| スケール線膨張係数 | 0.5×10-6/℃ | 0.5×10-6/℃ |
| リミット/機械原点センサ | EE-SX1103 （オムロン製） | EE-SX1103 （オムロン製） |
| 結線図 |  |
|
| 適用コントローラ | FC-511 | |
※注1）ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2）無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
