自動ステージ：サブミクロン位置決めZ軸ステージ・昇降自動ステージ
FS-1005Z／FS-1010Z【サブミクロン位置決めZ軸ステージ】
FS-1005Z 
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 FS-1005Z |
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製品詳細
| 品番 | FS-1005Z | FS-1010Z |
| 価 格（税別） | ￥550,000 | ￥750,000 |
| 移動量 | 5mm | 10mm |
| テーブルサイズ | 120mm×120mm | 120mm×120mm |
| 5相ステッピングモータ | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A |
| 最小分解能 | 0.1/0.05μm ※注2) | 0.1/0.05μm ※注2) |
| ネジ径・リード | Φ6×1 | Φ6×1 |
| 送り機構 | ボールネジ | ボールネジ |
| 移動ガイド | LMガイド＋クロスローラ | LMガイド＋クロスローラ |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.2/±0.1μm ※注1) ※注2) | ±0.2/±0.1μm ※注1) ※注2) |
| 走り平行度 | − | − |
| 耐荷重 | 5kg | 5kg |
| 質量 | 約1.6kg | 約1.7kg |
| 最大移動速度 | 5mm/sec ※注2) | 5mm/sec ※注2) |
| 本体材質 | アルミ合金 | アルミ合金 |
| 表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
| 内蔵スケール信号周期 | 4μm | 4μm |
| 内蔵スケール素材 | クォーツガラス（TQZ） | クォーツガラス（TQZ） |
| スケール線膨張係数 | 0.5×10-6/℃ | 0.5×10-6/℃ |
| リミット/機械原点センサ | EE-SX1103 （オムロン製） | EE-SX1103 （オムロン製） |
| 結線図 |  |
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| 適用コントローラ | FC-111／FC-411 | |
※注1）ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2）無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
