自動ステージ:X軸ステージ テンナノ位置決めステージ
FS-1020P/FS-1050P【10ナノ位置決めステージ】


ピエゾ素子を使わずボールネジのみで10nm分解能を達成しました。 リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージです。 フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。
図面・CADデータをダウンロード
各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
製品詳細
品番 | FS-1020P | FS-1050P |
価 格(税別) | ¥350,000 | ¥450,000 |
移動量 | 20mm | 50mm |
テーブルサイズ | 60mm×60mm | 120mm×120mm |
5相ステッピングモータ | PMU33BH2 (オリエンタル製)0.5A | PMU33BH2 (オリエンタル製)0.5A |
最小分解能 | 0.01μm | 0.01μm |
ネジ径・リード | Φ4×1 | Φ6×1 |
送り機構 | ボールネジ | ボールネジ |
移動ガイド | クロスローラガイド | クロスローラガイド |
繰り返し位置決め精度 | ±0.02μm ※注1) | ±0.02μm ※注1) |
走り平行度 | 10μm | 10μm |
耐荷重 | 5kg | 10kg |
質量 | 約0.5kg | 約1.6kg |
最大移動速度 | 10mm/sec ※注2) | 10mm/sec ※注2) |
本体材質 | アルミ合金 | アルミ合金 |
表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
内蔵スケール信号周期 | 4μm | 4μm |
内蔵スケール素材 | クォーツガラス(TQZ) | クォーツガラス(TQZ) |
スケール線膨張係数 | 0.5×10-6/℃ | 0.5×10-6/℃ |
リミット/機械原点センサ | EE-SX1103 (オムロン製) | EE-SX1103 (オムロン製) |
結線図 | ![]() |
|
適用コントローラ | FC-511 |
※注1)内蔵スケール(PS-100)の読取値に対する繰返し位置決め精度です。 ※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。