自動ステージ・Ｘ軸ステージ 10ナノ位置決めステージ
FS-1100PX／FS-3150PX【10ナノ位置決めステージ】
FS-1100PX 
FS-3150PXピエゾ素子を使わずボールネジのみで10nm分解能を達成しました。 リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動直動ステージです。 フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。
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FS-3150PX |
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製品詳細
| 品番 | FS-1100PX | FS-3150PX |
| 価 格（税別） | ￥550,000 | ￥750,000 |
| 移動量 | 100mm | 150mm |
| テーブルサイズ | 120mm×120mm | 120mm×170mm |
| 5相ステッピングモータ | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A |
| 最小分解能 | 0.01μm | 0.01μm |
| ネジ径・リード | Φ6mm×1 | Φ6mm×1 |
| 送り機構 | ボールネジ | ボールネジ |
| 移動ガイド | LMガイド | LMガイド |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.02μm ※注1) | ±0.02μm ※注1) |
| 走り平行度 | 10μm | 10μm |
| 耐荷重 | 10kg | 10kg |
| 質量 | 約2.1kg | 約3kg |
| 最大移動速度 | 10mm/sec ※注2) | 10mm/sec ※注2) |
| 主材質 | アルミ合金 | アルミ合金 |
| 表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
| 内蔵スケール信号周期 | 4μm | 4μm |
| 内蔵スケール素材 | クォーツガラス（TQZ） | 青板ガラス |
| スケール線膨張係数 | 0.5×10-6/℃ | 9×10-6/℃ |
| リミット/機械原点センサ | EE-SX1103 （オムロン製） | EE-SX1103 （オムロン製） |
| 適用コントローラ | FC-511 | |
※注1）内蔵スケール（PS-100）の読取値に対する繰返し位置決め精度です。 ※注2）無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
