自動ステージ・Ｘ軸ステージ、5ナノ位置決めステージ
FS-1020SPX／FS-1050SPX【5ナノ位置決めステージ】
FS-1020SPX 
FS-1050SPXピエゾ素子を使わずボールネジのみで5nm分解能を達成しました。 リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージです。 フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。 注）恒温室以外で使用すると位置決めが安定しない場合があります。詳しくは担当者までご連絡ください。
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製品詳細
| 品番 | FS-1020SPX | FS-1050SPX |
| 価 格（税別） | ￥450,000 | ￥550,000 |
| 移動量 | 20mm | 50mm |
| テーブルサイズ | 60mm×60mm | 120mm×120mm |
| 5相ステッピングモータ | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A | PMU33BH2 （オリエンタル製）0.5A |
| 最小分解能 | 0.005μm | 0.005μm |
| ネジ径・リード | Φ4×1 | Φ4×1 |
| 送り機構 | ボールネジ | ボールネジ |
| 移動ガイド | クロスローラガイド | クロスローラガイド |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.01μm ※注1) | ±0.01μm ※注1) |
| 走り平行度 | 10μm | 10μm |
| 耐荷重 | 5kg | 10kg |
| 質量 | 約0.5kg | 約1.6kg |
| 最大移動速度 | 5mm/sec ※注2) | 5mm/sec ※注2) |
| 本体材質 | アルミ合金 | アルミ合金 |
| 表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
| 内蔵スケール信号周期 | 4μm | 4μm |
| 内蔵スケール素材 | クォーツガラス（TQZ） | クォーツガラス（TQZ） |
| スケール線膨張係数 | 0.5×10-6/℃ | 0.5×10-6/℃ |
| リミット/機械原点センサ | EE-SX1103 （オムロン製） | EE-SX1103 （オムロン製） |
| 適用コントローラ | FC-611 | |
※注1）内蔵スケール（PS-100）の読取値に対する繰返し位置決め精度です。 ※注2）無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
