自動ステージ・ＸＹ軸ステージ 20mm透過型自動ステージ
LU-20LS【20mm透過型自動ステージ】
LU-20LSステージ中央に□25mmの貫通穴がある透過型自動XYステージです。 ボールネジとクロスローラガイドを採用し高剛性な仕様です。 フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。
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 LU-20LS |
 LU-20LS |
製品詳細
| 品番 | LU-20LS |
| 価 格（税別） | ￥1,280,000 |
| 移動量 | 20mm |
| テーブルサイズ | 70mm×70mm |
| 5相ステッピングモータ | PMM33BH2-C26（オリエンタル製）0.75A |
| 最小分解能 | 0.01μm |
| ネジ径･リード | Φ6×1 |
| 送り機構 | ボールネジ |
| 移動ガイド | クロスローラガイド |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.02μm ※注1) |
| 走り平行度 | − |
| 耐荷重 | 10kg |
| 質量 | |
| 最大移動速度 | 10mm/sec ※注2） |
| 材質 | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト |
| 内蔵スケール信号周期 | 4μm |
| 内蔵スケール素材 | クオーツガラス（TQZ） |
| スケール膨張係数 | 0.5×10-6/℃ |
| リミット/機械原点センサ | HR10A-10R-12P（ヒロセ製） |
| 適用コントローラ | FC-501 |
※注1）内蔵スケール（PS-100）の読取値に対する繰返し位置決め精度です。 ※注2）無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
