自動ステージ・XY軸ステージ 20mm透過型自動ステージ
LU-20LS【20mm透過型自動ステージ】

ステージ中央に□25mmの貫通穴がある透過型自動XYステージです。 ボールネジとクロスローラガイドを採用し高剛性な仕様です。 フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。
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各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。
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製品詳細
品番 | LU-20LS |
価 格(税別) | ¥1,280,000 |
移動量 | 20mm |
テーブルサイズ | 70mm×70mm |
5相ステッピングモータ | PMM33BH2-C26(オリエンタル製)0.75A |
最小分解能 | 0.01μm |
ネジ径・リード | Φ6×1 |
送り機構 | ボールネジ |
移動ガイド | クロスローラガイド |
繰り返し位置決め精度 | ±0.02μm ※注1) |
走り平行度 | − |
耐荷重 | 10kg |
質量 | |
最大移動速度 | 10mm/sec ※注2) |
材質 | アルミ |
表面処理 | 黒アルマイト |
内蔵スケール信号周期 | 4μm |
内蔵スケール素材 | クオーツガラス(TQZ) |
スケール膨張係数 | 0.5×10-6/℃ |
リミット/機械原点センサ | HR10A-10R-12P(ヒロセ製) |
適用コントローラ | FC-501 |
※注1)内蔵スケール(PS-100)の読取値に対する繰返し位置決め精度です。 ※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。