レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

防振台及び除振台の製造説明のワイヤード株式会社

防振台のこだわり

きめ細かい製造工程と確かな製品

こだわりの製造工程

ハニカム定盤はステンレス上下面にタップ加工を行い、丁寧に脱脂洗浄します。その後ハニカム部とプレス圧着します。 〈工程1〉ステンレス板の段階でタップ処理 〈工程2〉徹底した脱脂洗浄 〈工程3〉クリーンな部材のみ使用しプレス圧着

クリーン・高剛性を実現したスチールハニカム定盤

お客様のご要望に応じて様々な定盤サイズや、指定穴、リーマー、M4~M30のタップ加工、角穴、丸穴、切り欠等製作致します。

確かな実験結果「たわみ」

静的なたわみを小さくするために定盤内部のハニカム材には高剛性なスチールハニカムを採用しております。 アルミハニカムに比べ静的剛性は約2倍向上しています。

確かな実験結果「面精度」

■スチールハニカム光学定盤 下記データはB-1010(1000×1000mm)のハニカム定盤の面精度です。 平面度=72.50[um] 計算結果表示(測定平面の最小領域の換算) ・平面度=72.50[um] ・横方向測定全長=1000[mm](250[mm]*4) ・縦方向測定全長=1000[mm](250[mm]*4)

■高面精度スチールハニカム定盤 HF型 平面度50μm/m²以内 石定盤、鋳鉄定盤と比べ軽量です。 仕様表サイズ以外の寸法(最大1500×1000)および丸穴・角穴・切り欠き等の製作が可能です。 平面度50μm/m²以内 石定盤、鋳鉄定盤と比べ軽量です。 仕様表サイズ以外の寸法(最大1500×1000)および丸穴・角穴・切り欠き等の製作が可能です。 下記データはHF-1010(1000×1000mm) 計算結果表示(測定平面の最小領域の換算) ・平面度=27.20[um] ・横方向測定全長=1000[mm](200[mm]*5) ・縦方向測定全長=1000[mm](200[mm]*5)

高い技術力

ワンランク上のチューンド・マス・ダンピング構造

チューンド・マス・ダンピング(tuned mass damping,TMD)構造とは、補助質量とばね、およびオイルの組み合わせにより、定盤の共振の抑制に用いられる、受動型制振器です。

共振モードの変動に対応した狭帯域ダンピング構造

JVIの『チューンド・マス・ダンピング構造』は、独自のロバスト設計※1 により、使用環境や搭載荷重の影響による共振モードの変動にも対応し、狭帯域ダンピング構造でありながら広範囲※2 にわたり制振効果を発揮する、ワンランク上のチューンド・マス・ダンピング構造です。 下のグラフは、通常のTMD構造とロバスト設計のTMD構造のQ値※3 を比較したものです。 ※1…ロバスト設計とは、ある系が応力や環境の変化といった外乱の影響によって変化することを阻止し、安定した(=ロバストな)機能を発揮する設計手法のこと。 ※2…広範囲とは、対象となる共振モードを基準に固有振動数で-10%~+5%の範囲(理論値)をいう。 ※3…Q値とは、当該コンプライアンスを理想剛体線で割った値で、振動の増幅度を示す。

高い除振性能を発揮する三次元空気ばね

三次元空気ばねは全方位対応ですので、垂直方向だけではなく水平方向やあらゆる方向からの振動に優れた除振性能を発揮します。

幅広い対応力

形状の自由設計と拡張が可能なジョイントタイプ

希望する実験計画に合ったレイアウトをご提供します。 複数の除振台を結合させて、T字型やL字型など様々な形を構成することが可能です。 搬入経路が狭く、搬入が困難なサイズの除振台が必要な場合も有効です。

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