製品の特徴
- 真空極低温非磁性
- XYZ軸制御
- 貫通穴Φ 50 mm
- オープンループ制御コントロール
| 仕様 | ||
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モデル |
XD106.XYZ200K |
単位 |
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移動方向 |
X、Y、Z |
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移動範囲（0〜150 V） |
XY200、Z100 |
μm±10％、室温 |
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低温移動範囲（0〜150 V） |
XY80、Z50 |
μm±10％、低温100 K |
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分解能 |
66 x 66 |
nm |
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無負荷時共振周波数 |
150×150×35 |
Hz±20% |
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荷重200 g時 共振周波数 |
8 |
Hz±20% |
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静電容量 |
0.2 |
μF±20% |
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素材 |
0.15 |
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キャリングキャパシティ |
<150 |
g |
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重量 |
1 |
g±5% |
注）上記パラメータは、ピエゾコントローラーE00/E01シリーズを使用して測定したものです。最大駆動電圧は-20 V～150 Vまで対応可能です。高信頼性で長期間使用する場合は、0～120 Vの駆動電圧を推奨します。
模式図
