ピエゾ位置決めステージXD107シリーズは、サンプル顕微鏡のイメージング用途向けに、中央に正方形の貫通穴を持つ3軸ピエゾ位置決めステージです。
仕様
| 型番 | XD107.XY100Z20S | XD107.XY100Z20K | 単位 |
| 動作方向 | X、Y、Z | X、Y、Z | |
| 駆動制御 | 3軸制御 | 3軸制御 | |
| 移動範囲（0〜120 V） | XY80/Z64 | XY80/Z64 | μm±20% |
| 移動範囲（0～150 V） | XY100/Z80 | XY100/Z80 | μm±20% |
| センサータイプ | SGS | – | |
| 貫通穴サイズ | 50×50 | 50×50 | mm |
| 外形寸法 | 94×94×24.5 | 94×94×24.5 | mm |
| クローズド/オープンループ分解能 | 3 | 1 | nm |
| 閉ループ直線性 | XY0.2/Z0.1 | – | %F.S. |
| クローズドループの繰り返し位置決め精度 | XY0.02/Z0.02 | – | %F.S. |
| ピッチ／ヨー／ロール | ≦30 | ≦30 | μrad |
| 無負荷時共振周波数 | XY220/Z160 | XY220/Z160 | Hz±20% |
| 荷重（400 g）に対する共振周波数 | XY110/Z80 | XY110/Z80 | Hz±20% |
| キャリングキャパシティ | 0.4 | 0.4 | kg±5 |
| 静電容量 | XY3.6/Z1.8 | XY3.6/Z1.8 | μF±20% |
| 素材 | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム | |
| 重量 | 420 | 420 | g±5% |
注）上記パラメータは、ピエゾコントローラーE00/E01シリーズを使用して測定したものです。最大駆動電圧は-20 V～150 Vまで可能ですが、信頼性の高い長期使用には、0～120 Vの駆動電圧を推奨します。
模式図
