レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

XD107シリーズ ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm

  • HOME »
  • XD107シリーズ ピエゾ位置決めステージ XYZ 3軸ストローク 最大100μm
XD107

 

ピエゾ位置決めステージXD107シリーズは、サンプル顕微鏡のイメージング用途向けに、中央に正方形の貫通穴を持つ3軸ピエゾ位置決めステージです。


仕様

型番XD107.XY100Z20SXD107.XY100Z20K単位
動作方向X、Y、ZX、Y、Z
 駆動制御3軸制御3軸制御
移動範囲(0〜120 V)XY80/Z64XY80/Z64μm±20%
移動範囲(0~150 V)XY100/Z80XY100/Z80μm±20%
センサータイプSGS
貫通穴サイズ50×5050×50mm
外形寸法94×94×24.594×94×24.5mm
クローズド/オープンループ分解能31nm
閉ループ直線性XY0.2/Z0.1%F.S.
クローズドループの繰り返し位置決め精度XY0.02/Z0.02%F.S.
ピッチ/ヨー/ロール≦30≦30μrad
無負荷時共振周波数XY220/Z160XY220/Z160Hz±20%
荷重(400 g)に対する共振周波数XY110/Z80XY110/Z80Hz±20%
キャリングキャパシティ0.40.4kg±5
静電容量XY3.6/Z1.8XY3.6/Z1.8μF±20%
素材スチール、アルミニウムスチール、アルミニウム
重量420420g±5%

注)上記パラメータは、ピエゾコントローラーE00/E01シリーズを使用して測定したものです。最大駆動電圧は-20 V~150 Vまで可能ですが、信頼性の高い長期使用には、0~120 Vの駆動電圧を推奨します。


模式図

お陰様で今年で創立23周年迎える事が出来ました TEL 03-3488-5734 受付時間 9:00 - 18:00 [ 土・日・祝日除く ]
Eメール sales@wired-co.jp

PAGETOP
Copyright © ワイヤード株式会社 All Rights Reserved.
Powered by WordPress & BizVektor Theme by Vektor,Inc. technology.