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| 仕様 | |||||
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型番 |
貫通穴サイズ[mm] |
移動量[μm] |
分解能[nm] |
共振周波数[kHz] |
耐荷重[kg] |
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Φ25/Φ35 |
100 |
1 |
X0.23/Y0.18/Z0.15 |
0.6 |
|
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Φ18 |
XY500Z800 |
XY4/Z6.5 |
– |
0.25 |
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|
45×45 |
100/軸 |
1 |
X0.2/Y0.15/Z0.12 |
0.5 |
|
|
45×45 |
200/軸 |
2 |
X0.15/Y0.13/Z0.09 |
0.3 |
|
|
45×45 |
200/軸 |
XY3/Z1 |
XY0.24/Z0.15 |
0.5 |
|
|
Φ10 |
XY250Z100 |
1 |
– |
0.2 |
|
|
5×5 |
80/軸 |
0.3 |
0.35 |
0.1 |
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|
60×60 |
100/軸 |
1 |
– |
1 |
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66×66 |
300/軸 |
2.5 |
X0.27/Y0.27/Z0.55 |
0.5 |
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|
66×66 |
300 |
5 |
X0.19/Y0.14/Z0.24 |
5 |
|
|
Φ35 |
200/軸 |
2 |
X0.12/Y0.2/Z0.3 |
0.8 |
|
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84×65 |
50/軸 |
0.5 |
X0.52/Y0.63/Z0.49 |
0.5 |
|
|
84×65 |
50/軸 |
0.5 |
X499/Y589/Z470 |
0.5 |
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|
φ50 |
XY200Z100 |
2 |
X0.18/Y0.18/Z0.25 |
0.7 |
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50×50 |
XY100Z80 |
1 |
XY0.22/Z0.16 |
0.4 |
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