P12A.XYZ ピエゾ位置決めステージ 100 μm貫通穴▢ 45×45 mm

ピエゾ位置決めステージP12Aシリーズは、テーブル本体の中央に正方形の貫通穴を設け、内部に摩擦のないフレキシブルなヒンジガイド機構を備えた1~3方向の平行移動ステージです。P12A.XYZ XYZ軸ピエゾ位置決めステージは、中央に貫通穴を持ち、走査範囲は最大100 μmで、ヨーイングのない直線運動と高精度のクローズドループ位置決めステージを備えています。表面測定や顕微鏡イメージングなどの用途に広く使用されています。

仕様

型番(S閉ループ/K開ループ)	P12A.XYZ100S	P12A.XYZ100K	単位
移動方向	X、Y、Z	X、Y、Z
移動範囲(0～120 V)	80	80	µm/軸±10%
移動範囲（0～150 V）	100	100	μm/軸 ±10%
センサータイプ	SGS	–
貫通穴サイズ	45×45	45×45	mm
分解能	3	1	nm，typ.
閉ループ直線性	0.15	–	%F.S.
クローズドループの繰り返し位置決め精度	0.1	–	%F.S.
ピッチ／ヨー／ロール	<20	<20	µrad
動作方向プッシュ/プル	20/4	20/4	N
運動方向剛性	X0.3/Y0.25/Z0.2	X0.3/Y0.25/Z0.2	N/µm±20%
無負荷時共振周波数	X0.2/Y0.15/Z0.12	X0.2/Y0.15/Z0.12	kHz±20%
無負荷ステップ時間	30	0.8	ms±20%
キャリングキャパシティ	0.5	0.5	Kg
静電容量	3.6	3.6	μF/軸±20%
動作温度範囲**	-20~80	-20~80	°C
素材	スチール、アルミニウム	スチール、アルミニウム
外形寸法（L×W×H）	85×85×26	85×85×26	mm
重量	350	350	g±5%
行間長	1.5	1.5	m±10 mm
センシング/電圧コネクター***	LEMO	LEMO