自動ステージ・ＸＹ軸ステージ 顕微鏡ステージ
LU-SX150／LU-SX200【顕微鏡ステージ】
LU-SX150 
LU-SX200φ100、φ150の透過用穴付き自動XY軸ステージです。 研削仕上げをした高精度で薄型仕様になっています。 顕微鏡の型式を御指示いただければ取付アダプタ及びサンプル台（ウェハチャック）など検討し製作させていただきます。 （注）物理的に取付かない顕微鏡もございますので御相談ください。
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各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。
 LU-SX150 |
LU-SX200 |
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製品詳細
| 品番 | LU-SX150 | LU-SX200 |
| 移動量 | 150mm | 200mm |
| テーブルサイズ | 260mm×260mm | 310mm×310mm |
| 5相ステッピングモータ | PK543N-B （オリエンタル製）0.75A | PK543N-B （オリエンタル製）0.75A |
| 分解能フルステップ （ハーフステップ） | 4μm（2μm） ※注1） | 2μm（1μm） ※注1） |
| ネジ径･リード | Φ10×2 | Φ8×1 |
| 送り機構 | ボールネジ | ボールネジ |
| 移動ガイド | クロスローラガイドHR UP級 | クロスローラガイドHR UP級 |
| 位置決め精度 | 20μm | 20μm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±2μm | ±2μm |
| バックラッシュ | 1μm | 1μm |
| 走り平行度 | 20μm | 20μm |
| XY直角度 | 12μm | 12μm |
| XY平行度 | − | − |
| 耐荷重 | 0.5kg | 0.5kg |
| 質量 | 約8kg | 約11kg |
| 最大移動速度 | 10mm/sec ※注2） | 10mm/sec ※注2） |
| 本体材質 | アルミ | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
| リミット/機械原点センサ | PM-L24 （サンクス製） | PM-L24 （サンクス製） |
| ステージ側コネクタ | DA-15PF-N （日本航空電子） | DA-15PF-N （日本航空電子） |
| 結線図 |  |
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| 適用コントローラ | 適応コントローラは別途お問合せ下さい | |
※注1）ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2）無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
