自動ステージ・位置決めステージ・手動ステージ
|Ｘ軸ステージ｜ＸＹ軸ステージ｜Ｚ軸ステージ｜回転ステージ｜スリム自動ステージ｜アクチュエータ｜手動ステージ(ステンレスステージ)|コントローラ・ドライバー│ 自動ステージ及び位置決めステージを応用した特注位置決め製品及び特注システム製品もご提案出来ます。 【※下記青い太文字の型番・品番をクリックすると製品のページに行きます】
※全ての自動ステージの保証期間は1年とさせて頂いております。
X軸ステージ
| ストローク | アルミシリーズ | スチールシリーズ | ステンレスシリーズ | リニアスケール内蔵 (※今年で生産中止となります) |
| 10mm | □40小型 自動ステージ TSA40-10X |
ステンレス 自動ステージ YBS60-20XA |
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| 12mm | マイクロスリム 自動ステージ GT-MS-12 |
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| 20mm | □60小型 自動ステージ TSA60-20X |
サブミクロン 位置決めステージ FS-1020X 10nm 位置決めステージ FS-1020PX 5nm 位置決めステージ FS-1020SPX |
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| 35mm | 高剛性 自動ステージ SK20-35X |
ステンレス 自動ステージ KX-90X |
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| 50mm | 高剛性 自動ステージ SK26-50X
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ステンレス 自動ステージ KX-120X |
サブミクロン 位置決めステージ FS-1050X 10nm 位置決めステージ FS-1050PX 5nm 位置決めステージ FS-1050SPX
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| 85mm | 高剛性 自動ステージ SK20-85X |
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| 100mm | 高剛性 自動ステージ SK26-100X
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| 150mm | サブミクロン 位置決めステージ FS-3150X 10nm 位置決めステージ FS-3150PX
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| 200mm | 高剛性 自動ステージ SK26-200X 高剛性 自動ステージ SK33-200X |
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| 300mm | 高剛性 自動ステージ SK33-300X |
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| 500mm | 高剛性 自動ステージ SK33-500X |
XY軸ステージ
| ストローク | アルミシリーズ | ステンレスシリーズ | 顕微鏡ステージ |
| 10mm | □40小型自動ステージ TSA40-10XY |
ステンレス自動ステージ YBS60-20XYA |
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| 20mm | □60小型自動ステージ TSA60-20XY |
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| 35mm | 高剛性自動ステージ SK20-35XY |
ステンレス自動ステージ KX-90XY |
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| 50mm | 高剛性自動ステージ SK26-50XY |
ステンレス自動ステージ KX-120XY |
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| 85mm | 高剛性自動ステージ SK20-85XY |
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| 75mm | 顕微鏡ステージ LU-SX150 |
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| 100mm | 高剛性自動ステージ SK26-100XY |
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| 200mm | 高剛性自動ステージ SK26-200XY 高剛性自動ステージ SK33-200XY |
顕微鏡ステージ LU-SX200 |
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| 300mm | 高剛性自動ステージ SK33-300XY |
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| 500mm | 高剛性自動ステージ SK33-500XY |
Z軸ステージ
| ストローク | アルミシリーズ | スチールシリーズ | リニアスケール内蔵 (※今年で生産中止となります) |
| 4mm | □60ZF自動ステージ TSA60-4ZF |
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| 5mm 10mm |
10ナノ 位置決め Z軸ステージ FS-1005PZ FS-1010PZ サブミクロン 位置決め Z軸ステージ FS-1005Z FS-1010Z |
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| 35mm | 高剛性自動ステージ SK20-35Z |
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| 50mm | 高剛性自動ステージ SK26-50Z |
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| 85mm | 高剛性自動ステージ SK20-85Z |
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| 100mm | 高剛性自動ステージ SK26-100Z |
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| 200mm | 高剛性自動ステージ SK26-200Z |
回転ステージ
| □40小型自動回転ステージ TSA40-θ |
□60小型自動回転ステージ TSA60-θ |
中空回転ステージ TSA160-θ |
| サブミクロン分解能微小回転ステージ FS-1120Pθ |
10nm分解能微小回転ステージ FS-1120Pθ |
ゴニオステージ(生産終了となりました)
※販売しさせて頂いた製品に関しては出来る限りメンテナンスさせて頂きます
| □60 自動ゴニオステージ TSA60-PA |
□60 自動ゴニオステージ TSA60-PB |
高剛性 自動ゴニオステージ SG85-PA |
高剛性 自動ゴニオステージ SG85-PB |
マイクロスリム自動ステージ
| マイクロスリム 自動ステージ |
自動アクチュエータ
| FACT15-AL |
手動ステージ(ステンレスステージ)
| SUS-60 |
