レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

マイクロスリム自動ステージ

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【特徴】
●テーブル20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ
●小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い精密クロスローラガイドを採用することにより、1kgの荷重が載せられる高剛性を実現
●本体部に原点検出機能(フォトセンサ)を搭載。
●全体の寸法が幅20mm、全長77.5mm、高さ32mmを実現
●重さ140gの超軽量構造をこの寸法で実現しました。
●光学部品、半導体、MEMS部品、装置組み込み用など、狭い場所での使用が可能です。

型式 GT-MS-12
移動量 12mm ※注1
繰り返し位置決め精度 ±3μm
水平(垂直)耐荷重 10(0.3)kgf
ロストモーション 5μm
モーター 5相ステッピングモーター(0.35A相)
駆動方式 精密送りネジリード5mm、クロスローラガイド機構(予圧)
理論分解能 0.5μm(ハーフステップ)
自重 約0.14kg
センサー フォトマイクロセンサーDC24V 1個

注1お客様のコントローラの仕様によっては移動量を確保出来ない場合がありますのでご注意下さい。
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