自動ステージ:ZF軸ステージ・昇降ステージ(生産中止)
AZ120-20ZF／AZ120-50ZF【ZF軸ステージ】
AZ120-20ZF/AZ120-50ZF
高負荷に耐えられるように設計された高精度、高剛性の自動水平面型Z軸ステージです。
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各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。
 AZ120-20ZF |
AZ120-50ZF |
 AZ120-20ZF |
AZ120-50ZF |
製品詳細
| 品番 | AZ120-20ZF | AZ120-50ZF |
| 移動量 | 20mm | 50mm |
| テーブルサイズ | 120mm×120mm | 120mm×120mm |
| 5相ステッピングモータ | TS3667N43E7 （多摩川精機製）0.75A | TS3624N21 （多摩川精機製）1.4A |
| 分解能フルステップ （ハーフステップ） | 1μm（0.5μm） ※注1） | 1μm（0.5μm） ※注1） |
| ネジ径･リード | Φ6×1 | Φ8×1 |
| 送り機構 | ボールネジ・くさび方式 | ボールネジ・くさび方式 |
| 移動ガイド | LMガイド | くさび：LMガイド 駆動：アウタレール |
| 位置決め精度 | 30μm | 30μm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±3μm | ±3μm |
| バックラッシュ | 5μm | 5μm |
| 平行度(面全体) | 50μm | 50μm |
| 耐荷重 | 20kg | 20kg |
| 質量 | 約6kg | 約9kg |
| 最大移動速度 | 10mm/sec ※注2） | 10mm/sec ※注2） |
| 本体材質 | 本体：アルミ テーブル、ベース：スチール | 本体：アルミ テーブル、ベース：スチール |
| 表面処理 | 本体：黒アルマイト テーブル、ベース：ニッケルメッキ | 本体：黒アルマイト テーブル、ベース：ニッケルメッキ |
| リミット/機械原点センサ | PM-L24 （サンクス製） | PM-L24 （サンクス製） |
| ステージ側コネクタ | DA-15PF-N （日本航空電子製） | DA-15PF-N （日本航空電子製） |
| 結線図 |  |
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| 適用コントローラ | 適応コントローラは別途お問合せ下さい | |
※注1）ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。 ※注2）無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
