小型自動ステージ
マイクロスリム自動ステージ
【特徴】
●テーブル20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ
●小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い精密クロスローラガイドを採用することにより、1kgの荷重が載せられる高剛性を実現
●本体部に原点検出機能（フォトセンサ）を搭載。
●全体の寸法が幅20mm、全長77.5ｍｍ、高さ32mmを実現
●重さ140ｇの超軽量構造をこの寸法で実現しました。
●光学部品、半導体、MEMS部品、装置組み込み用など、狭い場所での使用が可能です。
| 型式 | GT-MS-12 |
| 移動量 | 12mm ※注1 |
| 繰り返し位置決め精度 | ±3μm |
| 水平(垂直)耐荷重 | 10(0.3)kgf |
| ロストモーション | 5μm |
| モーター | ｵﾘｴﾝﾀﾙﾓｰﾀｰ5相ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰ PK513-PB(0.35A相) |
| 駆動方式 | 精密送りﾈｼﾞﾘｰﾄﾞ5mm、ｸﾛｽﾛｰﾗｶﾞｲﾄﾞ機構(予圧) |
| 理論分解能 | 0.5μm(ハーフステップ) |
| 自重 | 約0.14ｋｇ |
| センサー | ﾌｫﾄﾏｲｸﾛｾﾝｻｰPM-U24/PM-U25(SUNX製) DC24V 1個 |
注1お客様のコントローラの仕様によっては移動量を確保出来ない場合がありますのでご注意下さい。
