レンズ設計、機械設計をソフトを纏めて、防振台、機械加工を製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。

三次元空気ばね式ユニット(防振台)のワイヤード株式会社

除振台・定盤:装置組込み型三次元空気ばねユニット(防振台)

3LOシリーズ【装置組込み型三次元空気ばねユニット(防振台)】

三次元空気ばね式ユニット(防振台)

新方式空気ばねの採用により全高95mm〜152mm(浮上時)とコンパクト化に成功し、更に固有振動数で垂直1.5Hz、水平2.2Hzという高性能を兼ね備えた画期的な三次元空気ばねを実現させました。 今まで振動に悩まされていた精密測定機器や精密製造装置の下部にセットして頂くだけでより高い精度の測定や製造をお約束いたします。

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各製品の図面をPDF形式でご提供しています。

3LO-150

3LO-250

 

3LO-500

3LO-1000

3LO-1500

3LO-2500

製品詳細
固有振動数 垂直:1.5〜3.0Hz 水平:2.2〜3.5Hz
水平維持方式 メカニカルバルブによる自動レベリング(レギュレーター設定圧力0.25Mpa)
付属品 レギュレーター フィルター ストップバルブ 配管チューブ(外形6mmx5m) 空気源継ぎ手PT1/4オス
オプション 小型標準コンプレッサー 小型サイレントコンプレッサー
型 式 3LO-150 3LO-250 3LO-500 3LO-1000 3LO-1500 3LO-2500
製品高さ(mm) 93 108 115 117 137 147
製品寸法(mm) (W×D) 190×150 225×150 250×170 280×200 280×300 370×250
最大積載量 150kgf/4個 250kgf/4個 500kgf/4個 1000kgf/4個 1500kgf/4個 2000kgf/4個
製品重量 32kgf/4個 40kgf/4個 52kgf/4個 80kgf/4個 84kgf/4個 176kgf/4個

自動ステージ、光学部品、特注システム、防振台のワイヤード株式会社

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