Ｘ軸ステージ・ＸＹ軸ステージ・回転ステージ
TSA40-10X／TSA40-10XY／TSA40-θ【Ｘ軸ステージ・ＸＹ軸ステージ・回転ステージ】
□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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 TSA40-10X |
TSA40-10XY |
TSA40-θ |
製品詳細
| 品番 | TSA40-10X | TSA40-10XY | TSA40-θ |
| 移動量 | 10mm | 10mm | 340°･∞ |
| テーブルサイズ | 40mm×40mm | 40mm×40mm | Φ40mm |
| 5相ステッピングモータ | TS3664N4E1 （多摩川精機製）0.75A | TS3664N4E1 （多摩川精機製）0.75A | TS3664N4E1 （多摩川精機製）0.75A |
| 分解能フルステップ （ハーフステップ） | 1μm（0.5μm） ※注1） | 1μm（0.5μm） ※注1） | 0.01°（0.005°） ※注1） |
| ネジ径･リード | Φ4×0.5 | Φ4×0.5 | － |
| 送り機構 | 送りネジ | 送りネジ | ウォームギア |
| 移動ガイド | クロスローラ | クロスローラ | ボールベアリング |
| 位置決め精度 | － | － | － |
| 繰り返し位置決め精度 | ±3μm | ±3μm | ±0.01° |
| ロストモーション | 6μm | 6μm | 0.1° |
| 走り平行度 | － | － | － |
| XY直角度 | － | － | － |
| XY平行度 | － | － | － |
| 耐荷重 | 4kg | 3kg | 3kg |
| 質量 | 約0.18kg | 約0.3kg | 約0.3kg |
| 最大移動速度 | 5mm/sec ※注2） | 5mm/sec ※注2） | 40°/sec ※注2） |
| 本体材質 | アルミ | アルミ | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
| リミット/機械原点センサ | EE-SX1103 （オムロン製） | EE-SX1103 （オムロン製） | EE-SX1103 （オムロン製） |
| ステージ側コネクタ | HR10A-10R-12P （ヒロセ製） | HR10A-10R-12P （ヒロセ製） | HR10A-10R-12P （ヒロセ製） |
| 結線図 |  |
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